无线电厂芯片制造车间里,南园电子厂的三十名工程师仍然在跟着刘工努力学习着光刻机的使用技巧。
或许当初看光刻机使用步骤会觉得非常简单,无非就是涂胶、曝光、冲洗,最后刻蚀完事,这能有什么难的?可当后来刘工分步骤的一步步给他们讲解,才让他们明白这里面的门道有多深。
就拿第一步的涂胶来说,字面意思就是给硅片上涂一层光刻胶,因为光刻实际就是刻的这些光刻胶,而不是硅片。
这些光刻胶被特定波长的光照就会被溶解清除,再放进特定的化学溶剂里浸泡,最终得出自己想要的硅片,一次光刻就此完成。
听起来好像很简单,可涂胶不是摊煎饼果子,也不会允许你拿个小铲子给光刻胶抹匀,事实上那样也根本抹不匀。
一般都是通过高速旋转利用离心力的作用完成,虽然期间绝大部分的光刻胶会被甩出去浪费掉,但却能保证光刻胶的绝对均匀。
“但就算这样你仍然不能保证把光刻胶涂好,因为胶体在离心力的作用下很容易在硅片周围堆积甚至是流到背面,我们为了避免这种情况,在涂光刻胶的同时要进行不断的吹风,最后还要进行去边处理。”
听着刘工的讲课,大多数工程师都很蒙圈,他们很久没有这么高强度的学习,注意力有点跟不上了。
除此之外他们也是真没想到光刻能这么复杂,这还只是第一步的涂胶,还没开始光刻呢,就这么复杂了?
刘工倒是很能理解他们的状态,毕竟隔行如隔山嘛,尤其还是芯片制造这种尖端精密技艺,他们要是能讲一遍就学会,那才真逆天了。
这时有一个人却疑惑举手:“刘工,我记得你之前说过涂光刻胶就等于是给硅片贴一层膜,可你现在又说要吹风,这不是自相矛盾吗?就算洁净室里没有灰尘,可里面要是出了气泡也同样很麻烦吧?”
被人举手提问,刘工不仅不恼火,反而很高兴,这说明他是真听进去了。
他看过去,果不其然是他们的领头人张本松。
“你说的不错,一旦光刻胶里产生了气泡,就会引发诸如过度刻蚀等一系列问题,但吹风同样也需要,而所有一切的关键,就是转速。”
刘工告诉张本松,不管是光刻胶的摊开扩散还是抹匀,以及最后的吹风,都需要和转速相配合,刘工在黑板上写下几个数字:“这是我自己总结出来的配合数字,当然这只能作为参考,具体你们需要在实际操作中自行摸索。”
“其实在最后吹风的时候,我们就需要对硅片进行第一次烘培,烘培同样要是作为涂胶的重要步骤,因为只有烘培,才能让液体状态的光刻胶彻底粘附在光滑的硅片上,也能让光刻胶定型,不至于影响下一步的光刻。”
“同时更重要的,烘培也是在光刻不到位的时候,作为修补的重要手段……”
也不管张本松和其他有没有听明白自己之前的讲解,刘工就直接跳过涂胶进入烘培步骤,这不是刘工摸鱼走过场,而是张本松他们要求的。
毕竟现在时间已经过去一半,要是都跟之前对硅片打磨以及制作光掩模一样,都等他们了解听进去了再下一步,他们根本没办法在剩下半个月完全掌握光刻技术。
因此张本松找到刘工,让他就自顾自讲,至于自己这些能能不能听进去掌握,就是自己这些人的本事。
刘工现在就是这么做的。
……
时间一直到了天黑,刘工才把一整套涂胶流程全须全尾的教授给张本松一行人了。
他们能不能领会贯通不知道,但肯定全记下来,接下来他们就要回去讨论复习,争取加深理解,如果再有不明白的问题,等明天上课再来问自己就是。
送走张本松这些南园电子厂工程师们,没一会车间大门又被敲响。
“我不是说你们都自己回去好好反复思考,不管什么问题都明天统一……怎么是你?”
刘工以为是谁忘了什么东西,或者有什么问题,可结果定睛一看,居然是无线电厂的副厂长:“老李,什么风把你给吹来了?”
李姓副厂长看着刘工欲言又止,犹豫好一会才开口:“刘工,你知道近期厂里的事吗?”
刘工陷入了长时间的沉默,好半天以后才苦笑着点头:“如果老李你指的是新产品,我想我大抵还是听到风声了的。”
“刘工你才是无线电厂的总工程师,这种新产品的开发理应该是交到你手上才对,他居然随意提拔那个姓何的就开始搞了,这还把你这个总工程师放在什么位置?”
刘工摆手让李厂长打住:“毕竟我现在是在给兄弟单位上课嘛,没时间开发新产品。”
“这正是我想说的。”李厂长强调,“就这些南园电子厂的家伙们你还理他们做什么?不知道厂长为这事很生气,现在这就是做给你看的吗?如果你这么一意孤行下去当心你总工程师的位置不保呀!”
“不是我非要一意孤行,而是光刻这门手艺是真需要传下去呀,如果就此失传,那以后谁来做芯片,难道全进口国外的吗?万那些洋鬼子什么时候不卖了,或者逼着我们签什么丧权辱国的条约怎么办?还是为这行保留一点火种的好。”
“张本松这些工程师,我看得出他们都是真心想学,我就好好带带他们,虽然时间短,但只要有一个能真正学会,那就算是我没白教。”
至于自己……
刘工洒脱一笑:“我都这么大年纪了,本来跟厂长就不是一派的,早点退休也未尝不可。”
“刘工你这个人呀!”李厂长有点恨铁不成钢的说。
这时车间的大门再次被推开,是张本松他们三十个工程师站在门口,原本他们是真有问题回来询问,结果刚好听到刚才的对话。
“刘工,刘老师,请您放心,我们一定不会让您失望,我们一定学会所有光刻技艺,不给您丢脸!”张本松说着他们三十个人集体向刘工鞠躬致意。
总工程师刘振国也洒脱一笑,窗外夕阳的最后一丝余晖洒在他的脸上,宛若年少……
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